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等靜壓石墨直拉單晶硅熱場和多晶硅鑄錠爐用加熱器

作者:jcadmin 發布時間:2020-09-17 14:19:19

等靜壓石墨是上世紀60年代發展起來的一種新型石墨材料,具有一系列優異的性能。譬如,等靜壓石墨的耐熱性好,在惰性氣氛下,隨著溫度的升高其機械強度不但不降低,反而升高,在2500℃左右時達到最高值; 與普通石墨相比,結構精細致密,而且均勻性好; 熱膨脹系數很低,具有優異的抗熱震性能; 各向同性; 耐化學腐蝕性強,導熱性能和導電性能良好; 具有優異的機械加工性能。

正是由于具有這一系列的優異性能,等靜壓石墨在冶金、化學、電氣、航空宇宙及原子能工業等領域得到廣泛應用,而且,隨著科學技術的發展,應用領域還在不斷擴大。

在直拉單晶硅熱場中,等靜壓石墨部件有坩堝、加熱器、電極、隔熱遮蔽板、籽晶夾持器、旋轉坩堝用的底座、各種圓板、熱反射板等約30種。

其中,80%的等靜壓石墨用于制造坩堝和加熱器等。 近年來,對單晶硅棒的直徑要求越來越大,300 mm晶片的生產日益成為主流。

與此相應,單晶爐加熱區的直徑大多為800 mm,爐內的石墨坩堝為了保 護放置其中的石英坩堝,直徑達到了860 mm,加熱器直徑約960~1000 mm,其他部件的直徑有的最大達到了1500 mm。

從2003年開始,人們對地球居住環境的保護意識逐漸增強, 人們越來越青睞不排放二氧化碳的自然能源。在這種趨勢下,太陽能電池的生產急增。

在太陽能電池多晶硅片的制造過程中,首先要將多晶硅碎塊熔鑄成多晶硅方錠。其中鑄錠爐的加熱器需要用等靜壓石墨來制作。

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